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Design of Micro and Nanosystems [ LELEC2895 ]


5.0 crédits ECTS  30.0 h + 30.0 h   1q 

Enseignant(s) Pardoen Thomas ; Francis Laurent (coordinateur) ; Raskin Jean-Pierre ; Flandre Denis ;
Langue
d'enseignement:
Français
Lieu de l'activité Louvain-la-Neuve
Thèmes abordés Voir résumé
Acquis
d'apprentissage
A la fin du cours les étudiants seront capables de: - concevoir des micro (MEMS) et nanosystèmes (NEMS) incluant le capteur, le transducteur et l'électronique associée, - utiliser des outils de simulations numériques et analytiques multiphysiques pour la conception et l'optimisation des performances des microsystèmes, - tenir compte des challenges concernant la mise en boîtier des micro et nanosystèmes dès le début de la conception de ceux-ci.
Contenu 1. Méthodologie de conception MEMS 2. Principes de transduction 3. Capteurs et actionneurs : électrique, mécanique, thermique, optique, (bio)chimique, etc. 4. Co-intégration MEMS et circuits en technologie CMOS 5. Electronique faible consommation et faible bruit 6. Interconnexion (électrique et fluidique) et encapsulation 7. Simulations et caractérisations multiphysiques 8. Reproductibilité des procédés
Autres infos Méthodes d'enseignement: Environ 8 cours seront donnés sur les bases théoriques du domaine. Ensuite les étudiants par groupe de 2 ou 3 devront effectuer un travail de conception de MEMS ou de NEMS Prérequis: Connaissances de base en électronique, physique du solide, science de la matière, chimie ainsi que sur les techniques de micro et nanofabrication.
Cycle et année
d'étude
> Master [120] : ingénieur civil électricien
> Master [120] : ingénieur civil électromécanicien
> Master [120] : ingénieur civil en chimie et science des matériaux
> Master [120] : ingénieur civil physicien
Faculté ou entité
en charge
> ELEC


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