Design of Micro and Nanosystems [ LELEC2895 ]
5.0 crédits ECTS
30.0 h + 30.0 h
1q
| Enseignant(s) |
Pardoen Thomas ;
Francis Laurent (coordinateur) ;
Raskin Jean-Pierre ;
Flandre Denis ;
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Langue
d'enseignement: |
Français
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| Lieu de l'activité |
Louvain-la-Neuve
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| Thèmes abordés |
Voir résumé
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Acquis
d'apprentissage |
A la fin du cours les étudiants seront capables de:
- concevoir des micro (MEMS) et nanosystèmes (NEMS) incluant le capteur, le transducteur et l'électronique associée,
- utiliser des outils de simulations numériques et analytiques multiphysiques pour la conception et l'optimisation des performances des microsystèmes,
- tenir compte des challenges concernant la mise en boîtier des micro et nanosystèmes dès le début de la conception de ceux-ci.
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| Contenu |
1. Méthodologie de conception MEMS
2. Principes de transduction
3. Capteurs et actionneurs : électrique, mécanique, thermique, optique, (bio)chimique, etc.
4. Co-intégration MEMS et circuits en technologie CMOS
5. Electronique faible consommation et faible bruit
6. Interconnexion (électrique et fluidique) et encapsulation
7. Simulations et caractérisations multiphysiques
8. Reproductibilité des procédés
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| Autres infos |
Méthodes d'enseignement:
Environ 8 cours seront donnés sur les bases théoriques du domaine. Ensuite les étudiants par groupe de 2 ou 3 devront effectuer un travail de conception de MEMS ou de NEMS
Prérequis:
Connaissances de base en électronique, physique du solide, science de la matière, chimie ainsi que sur les techniques de micro et nanofabrication.
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Cycle et année
d'étude |
> Master [120] : ingénieur civil électricien
> Master [120] : ingénieur civil électromécanicien
> Master [120] : ingénieur civil en chimie et science des matériaux
> Master [120] : ingénieur civil physicien
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Faculté ou entité
en charge |
> ELEC
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