| PHYS2900 | Techniques du vide |
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[22.5h+15h] 1q
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 Objectifs
Amener l'étudiant à la maîtrise des installations de pompage, tant pour la conception de celles-ci que pour leur maintenance. Le familiariser avec les principales utilisations du vide.
Cahier des charges
- Eléments de théorie des gaz : loi des gaz, théorie cinétique, corrections pour gaz réels ; écoulement visqueux (laminaire et turbulent) ; écoulement moléculaire.
- Mesure de la pression : principaux types de jauges ; analyseurs de pression partielle.
- Production du vide : pompes mécaniques, pompes à diffusion, pompes chimiques, pompes ioniques, pompes cryogéniques.
- Propriétés des matériaux : tension de vapeur, absorption, dégazage, perméabilité.
- Enceintes à vide : calcul pratique et mesure des écoulement, contrôle d'étanchéité.
- Déposition sous vide : procédé par évaporation : types de chauffage, vitesse d'évaporation et de déposition, méthodes d'uniformisation, mesure d'épaisseur, préparation des surfaces.
- Déposition sous vide : procédé par pulvérisation cathodique : mécanisme de pulvérisation, seuil et rendement, nature et énergie des projectiles, énergie et distribution angulaire des particules injectées, techniques de pulvérisation, pulvérisation de matériaux composés.
Les exercices pratiques revêtent une grande importance. Le titulaire veillera à se constituer une documentation et un assortiment significatif de matériel.
Le cours PHYS2900 est mentionné dans les programmes suivants :
PHYS2 Licence en sciences physiques
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