5.00 crédits
30.0 h + 30.0 h
Q1
Enseignants
Francis Laurent;
Langue
d'enseignement
d'enseignement
Anglais
Thèmes abordés
Ce cours s'inscrit dans l'offre de cours ELEC en MEMS & NEMS, micro et nanotechnologies. LELEC2895 est consacré à la compréhension et à la conception de dispositifs micro-électromécaniques (MEMS), aux transducteurs (capteurs, actuateurs) réalisés dans des technologies de micro et nanofabrication, à leur co-intégration aux circuits intégrés, à leurs simulations et caractérisations multiphysiques, à leur fiabilité et à leur interconnexion.
Acquis
d'apprentissage
d'apprentissage
A la fin de cette unité d’enseignement, l’étudiant est capable de : | |
| 1 |
Eu égard au référentiel AA du programme « Master ingénieur civil électriciens», ce cours contribue au développement, à l'acquisition et à l'évaluation des acquis d'apprentissage suivants :
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Contenu
1. Méthodologie de conception de MEMS
2. Effets d'échelle et principes de transduction
3. Capteurs et actuateurs: électriques, mécaniques, thermiques, optiques, (bio)chimiques, etc...
4. Procédés de micro et de nanofabrication
5. Sélection de circuits d'interfaçage électronique
6. Simulations multiphysiques
2. Effets d'échelle et principes de transduction
3. Capteurs et actuateurs: électriques, mécaniques, thermiques, optiques, (bio)chimiques, etc...
4. Procédés de micro et de nanofabrication
5. Sélection de circuits d'interfaçage électronique
6. Simulations multiphysiques
Méthodes d'enseignement
Le cours est typiquement organisé en
- 10 séances de cours en classes inversées, appuyées par la résolution en groupe de nombreux exemples et cas
- 1 séance de tutoriel sur les outils logiciels
- 3 sessions de travaux pratiques de conception avec encadrement
- 1 séance de séminaire industriel
Modes d'évaluation
des acquis des étudiants
des acquis des étudiants
Le cours fait l'objet d'une évaluation continue pour 3/5 de la note finale pendant le semestre lors de la remise des rapports de travaux de groupe sur les séances de travaux pratiques, et pour 2/5 par un examen oral individuel en session. L'examen en session est un examen à livre fermé assisté d'une préparation écrite. La note de travail de groupe est conservée pour toutes les sessions d'une même année académique.
Autres infos
Le cours LELEC2560 Micro and Nanofabrication Techniques est un pré-requis utile. Des connaissances de base en électronique, physique du solide, science des matériaux et chimie sont un avantage.
Ressources
en ligne
en ligne
Bibliographie
Supports
- Transparents disponibles sur Moodle/Slides available on Moodle
- Livre de référence disponible à la Bibliothèque des Sciences et Technologies/Reference book available at the Science and Technology Library (Ville Kaajakari, "Practical MEMS", Small Gear Publishing)
Support de cours
- http://www.kaajakari.net/PracticalMEMS
Faculté ou entité
en charge
en charge
ELEC
