5.00 crédits
30.0 h + 30.0 h
Q2
Enseignants
Francis Laurent (coordinateur(trice)); Hackens Benoît; Raskin Jean-Pierre;
Langue
d'enseignement
d'enseignement
Anglais
Thèmes abordés
La formation aborde les sujets suivants : procédés de fabrication des dispositifs micro et nanoscopiques, MEMs, NEMs, et des circuits intégrés :
- matériaux semiconducteurs et leur fabrication,
- oxydation, implantation ionique, dopage, métallisation, traitement par plasma...
- micro et nanolithographie, gravures laser, etc.
- micro et nanocaractérisation : SEM, AFM, Ellipsométrie, Dektak,...
Acquis
d'apprentissage
d'apprentissage
A la fin de cette unité d’enseignement, l’étudiant est capable de : | |
| 1 |
Eu égard au référentiel AA du programme « Master ingénieur civil électricien », ce cours contribue au développement, à l'acquisition et à l'évaluation des acquis d'apprentissage suivants :
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Contenu
- types de substrats.
- transistor MOS.
- techniques physiques et chimiques pour le dépôt de films minces : PVD, CVD, PECVD, ALD, etc.
- transfert de structures : masquage, lithographie optique et électronique.
- techniques de gravure : mécanismes de gravure, gravures sèches et humides, RIE, DRIE, IBE, sélectivité des gravures, etc.
- techniques particulières de dépôts ou de gravure des films minces.
- éléments de métrologie (techniques de microscopie, optique, mesures électriques, analyses physiques et chimiques,...).
- transistor MOS.
- techniques physiques et chimiques pour le dépôt de films minces : PVD, CVD, PECVD, ALD, etc.
- transfert de structures : masquage, lithographie optique et électronique.
- techniques de gravure : mécanismes de gravure, gravures sèches et humides, RIE, DRIE, IBE, sélectivité des gravures, etc.
- techniques particulières de dépôts ou de gravure des films minces.
- éléments de métrologie (techniques de microscopie, optique, mesures électriques, analyses physiques et chimiques,...).
Méthodes d'enseignement
Les étudiants aborderont en groupe les éléments relatifs à la fabrication de dispositifs miniaturisés et seront amené à concevoir un process complet grâce aux supports bibliographiques, séances encadrées de laboratoire en chambre propre, et interactions avec l'équipe enseignante. Des rapports et présentations intermédiaires avec l'équipe encadrante permettront un retour sur les états d'avancement.
Modes d'évaluation
des acquis des étudiants
des acquis des étudiants
Evaluation continuée d'un travail d'année réalisé en groupe, avec présentations intermédiaires et rapports écrits. Evaluation individuelle orale en session d'examen. Les points acquis lors de l'évaluation continue sont conservés pour toutes les sessions d'examens d'une même année académique.
Ressources
en ligne
en ligne
Bibliographie
Supports disponibles sur Moodle/supports available on Moodle
Livre de référence/reference book: "Introduction to microfabrication, 2nd ed.", S. Franssila, John Wiley & Sons, 2010
Livre de référence/reference book: "Introduction to microfabrication, 2nd ed.", S. Franssila, John Wiley & Sons, 2010
Faculté ou entité
en charge
en charge
ELEC
Programmes / formations proposant cette unité d'enseignement (UE)
Intitulé du programme
Sigle
Crédits
Prérequis
Acquis
d'apprentissage
d'apprentissage
Master [120] : ingénieur civil physicien
Master [120] : ingénieur civil en chimie et science des matériaux
Master [120] : ingénieur civil électricien
Master de spécialisation en nanotechnologies
Master [120] : ingénieur civil biomédical