5 crédits
30.0 h + 30.0 h
Q2
Enseignants
Francis Laurent coordinateur; Hackens Benoît; Raskin Jean-Pierre;
Langue
d'enseignement
d'enseignement
Anglais
Thèmes abordés
La formation aborde les sujets suivants : procédés de fabrication des dispositifs micro et nanoscopiques, MEMs, NEMs, et des circuits intégrés :
- matériaux semiconducteurs et leur fabrication,
- oxydation, implantation ionique, dopage, métallisation, traitement par plasma...
- micro et nanolithographie, gravures laser, etc.
- micro et nanocaractérisation : SEM, AFM, Ellipsométrie, Dektak,...
Acquis
d'apprentissage
d'apprentissage
A la fin de cette unité d’enseignement, l’étudiant est capable de : | |
| 1 | Eu égard au référentiel AA du programme « Master ingénieur civil électricien », ce cours contribue au développement, à l'acquisition et à l'évaluation des acquis d'apprentissage suivants :
A l'issue de cet enseignement, les étudiants seront en mesure de :
|
La contribution de cette UE au développement et à la maîtrise des compétences et acquis du (des) programme(s) est accessible à la fin de cette fiche, dans la partie « Programmes/formations proposant cette unité d’enseignement (UE) ».
Contenu
Une première étape, utilisant des outils de simulation numérique, permettra aux étudiants de se familiariser à la modélisation des processus de fabrication et à la caractérisation de dispositifs.
Une seconde étape, en salle blanche, donnera l'occasion aux étudiants de réaliser quelques étapes clés d'un processus complet de micro et nanofabrication, et de les caractériser.
Une seconde étape, en salle blanche, donnera l'occasion aux étudiants de réaliser quelques étapes clés d'un processus complet de micro et nanofabrication, et de les caractériser.
Méthodes d'enseignement
Quelques cours poseront les bases physiques des différentes étapes de fabrication. Ensuite, les étudiant conçoivent un process en groupes restreints grâces aux supports bibliographiques et interactions fréquentes avec un tuteur. Ils le réalisent enfin (fabrication/caractérisation) en salle blanche.
Modes d'évaluation
des acquis des étudiants
des acquis des étudiants
Rapport et examen oral en groupe
Ressources
en ligne
en ligne
Bibliographie
Supports disponibles sur iCampus
Faculté ou entité
en charge
en charge
ELEC
