| Thèmes abordés |
La formation aborde les sujets suivants : procédés de fabrication des dispositifs micro et nanoscopiques, MEMs, NEMs, et des circuits intégrés :
- matériaux semiconducteurs et leur fabrication,
- oxydation, implantation ionique, dopage, métallisation, traitement par plasma...
- micro et nanolithographie, gravures laser, etc.
- micro et nanocaractérisation : SEM, AFM, Ellipsométrie, Dektak,...
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Acquis
d'apprentissage |
Eu égard au référentiel AA du programme « Master ingénieur civil electricien », ce cours contribue au développement, à l'acquisition et à l'évaluation des acquis d'apprentissage suivants :
- AA1.1, 1.2, 1.3, AA2.1, 2.2, 2.3, 2.4, 2.5, AA- 3.1, 3.2, 3.3, AA- 4.1, 4.2, 4.3, 4.4, -AA- 5.1, 5.2, 5.3, 5.4, 5.5, 5.6, AA- 6.1
A l'issue de cet enseignement, les étudiants seront en mesure de
- Intégrer les procédés de fabrication de dispositifs électroniques de dimensions micro et nanoscopiques en vue de réaliser des dispositifs particuliers
- Utiliser des outils de simulation numérique de processus de fabrication
- Réaliser des étapes de micro et nanofabrication en salle blanche
- Caractériser les étapes avec les outils disponibles dans WinFab et Welcome
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| Contenu |
Une première étape, utilisant des outils de simulation numérique, permettra aux étudiants de se familiariser à la modélisation des processus de fabrication et à la caractérisation de dispositifs.
Une seconde étape, en salle blanche, donnera l'occasion aux étudiants de réaliser quelques étapes clés d'un processus complet de micro et nanofabrication, et de les caractériser.
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