Techniques de micro et nanofabrication [ LELEC2560 ]
5.0 crédits ECTS
30.0 h + 30.0 h
2q
| Enseignant(s) |
Raskin Jean-Pierre (supplée Francis Laurent) ;
Raskin Jean-Pierre ;
Bayot Vincent (coordinateur) ;
Flandre Denis ;
Francis Laurent ;
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Langue
d'enseignement: |
Français
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| Lieu de l'activité |
Louvain-la-Neuve
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| Thèmes abordés |
Voir résumé
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Acquis
d'apprentissage |
A l'issue de cet enseignement, les étudiants seront en mesure de
- Comprendre les procédés de fabrication de dispositifs électroniques de dimensions micro et nanoscopiques
- Utiliser des outils de simulation numérique de processus de fabrication
- Réaliser des étapes de micro et nanofabrication en salle blanche
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| Contenu |
Il traite des sujets suivants : procédés de fabrication des dispositifs semiconducteurs et des circuits intégrés, matériaux semiconducteurs et leur fabrication, oxydation, implantation ionique, dopage, micro et nanogravure, métallisation, lithographie, traitement par plasma, etc.
Un premier projet utilisant des outils de simulation numérique permettra aux étudiants de se familiariser à la modélisation des processus de fabrication et à la caractérisation de dispositifs.
Un second projet en salle blanche donnera l'occasion aux étudiants de réaliser quelques étapes clés d'un processus complet de micro et nanofabrication.
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| Autres infos |
Méthodes d'enseignement et d'apprentissage
Quelques cours poseront les bases physiques des différentes étapes de fabrication.
Ensuite, 2 projets seront réalisés en groupes restreints : simulations sur ordinateur et fabrication/caractérisation en salle blanche.
Pré-requis
Bases en électronique, en physique et chimie
Mode d'évaluation
Rapport et présentation des deux projets
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Cycle et année
d'étude |
> Master [120] : ingénieur civil en chimie et science des matériaux
> Master [120] : ingénieur civil biomédical
> Master [120] : ingénieur civil électricien
> Master [120] : ingénieur civil électromécanicien
> Master [120] : ingénieur civil physicien
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Faculté ou entité
en charge |
> ELEC
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