Basses pressions et physique du vide
[PHY2246]
[30h] 5 crédits
Enseignants : Pierre Defrance(coord.), Laurent Francis
Langue d'enseignement : Français
Niveau : Second cycle
Objectifs (en termes de compétences)
Objet de l'activité (principaux thèmes à aborder)
1. Théorie : rappels de la théorie cinétique des gaz, distribution de Boltzmann, gaz parfait et gaz réel.
2. Ecoulement moléculaire, conductance, vitesse de pompage, débit
3. Changements de phase, propriétés des matériaux (tension de vapeur) et état de surface
4. Instrumentation : principes de fonctionnement des pompes à vide : mécaniques, à diffusion, cryogéniques, chimiques, ioniques, turbo-moléculaires; instruments de mesure (jauges de pression, débit, ) et de contrôle des basses pressions (analyse de pression partielle)
5. Conception d'une enceinte à vide, calcul des flux, tests et contrôle
6. Applications de laboratoire (procédés de réalisation de couches minces) et applications industrielles
Laboratoires
L'enseignement comprendra des exercices pratiques réalisés en laboratoire et dont les objectifs seront la mise en application de la théorie (détermination de conductance, de vitesses de pompage), l'utilisation de divers équipements de production et de contrôle des basses pressions, la réalisation de couches minces et leur analyse par différentes méthodes.
Autres informations (Pré-requis, Evaluation, Support, ...)
Prérequis : Physique générale (thermodynamique et physique statistique)
Support : syllabus rédigé par les enseignants.