Design of Micro and Nanosystems
[ELEC2895]
[30h + 30h] 5 crédits
Cette activité se déroule pendant le 2e quadrimestre.
Enseignants : Denis Flandre, Laurent Francis, Thomas Pardoen, Jean-Pierre Raskin(coord.)
Langue d'enseignement : Français
Niveau : Second cycle
Objectifs (en termes de compétences)
- concevoir des micro (MEMS) et nanosystèmes (NEMS) incluant le capteur, le transducteur et l'électronique associée,
- utiliser des outils de simulations numériques et analytiques multiphysiques pour la conception et l'optimisation des performances des microsystèmes,
- tenir compte des challenges concernant la mise en boîtier des micro et nanosystèmes dès le début de la conception de ceux-ci.
Objet de l'activité (principaux thèmes à aborder)
Résumé : Contenu et Méthodes
2. Principes de transduction
3. Capteurs et actionneurs : électrique, mécanique, thermique, optique, (bio)chimique, etc.
4. Co-intégration MEMS et circuits en technologie CMOS
5. Electronique faible consommation et faible bruit
6. Interconnexion (électrique et fluidique) et encapsulation
7. Simulations et caractérisations multiphysiques
8. Reproductibilité des procédés
Autres informations (Pré-requis, Evaluation, Support, ...)
Environ 8 cours seront donnés sur les bases théoriques du domaine. Ensuite les étudiants par groupe de 2 ou 3 devront effectuer un travail de conception de MEMS ou de NEMS
Prérequis:
Connaissances de base en électronique, physique du solide, science de la matière, chimie ainsi que sur les techniques de micro et nanofabrication.